與MEMS傳感器一樣，毛細(xì)管傳感器也是采用層流元件來產(chǎn)生壓差，使小部分流量進(jìn)入旁路管道。而主要區(qū)別在于：毛細(xì)管傳感器不與介質(zhì)直接接觸。兩個(gè)溫度相關(guān)的電阻纏繞在不銹鋼毛細(xì)管上，構(gòu)成半個(gè)惠斯頓電橋。當(dāng)氣體流過毛細(xì)管時(shí)，就會(huì)帶走一部分熱量，流向?yàn)閺腞₁ 至R₂.這時(shí)，R₁ 的阻值下降，而R₂的阻值 上升。如果給電橋提供恒定的電流，其輸出電壓就與這兩個(gè)電阻的差值成正比。因此該輸出電壓與流過的氣體的質(zhì)量流量成線性關(guān)系。其線性關(guān)系甚至使該傳感器可用于未經(jīng)標(biāo)定的氣體；通過采用一個(gè)轉(zhuǎn)換因子當(dāng)前因子對(duì)當(dāng)前介質(zhì)的測(cè)量進(jìn)行修正。這樣就可簡(jiǎn)化標(biāo)定，同時(shí)正確選擇傳感器材質(zhì)可確保毛細(xì)管傳感器適用于腐蝕性氣體。

    該傳感器的動(dòng)態(tài)特性取決于不銹鋼毛細(xì)管的管壁特性，它起著熱障的作用。毛細(xì)管傳感器的響應(yīng)時(shí)間通常為幾秒，適用于大多數(shù)腐蝕性或毒性氣體。